壓力變送器是工業(yè)測(cè)控中最常見(jiàn)的一種壓力傳感器，主要是將氣體或液體物理壓力量線性轉(zhuǎn)化為標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)的一種測(cè)量?jī)x表。壓力變送器廣泛應(yīng)用于石油、化工、電力、航空航天、船舶、管道等眾多行業(yè)。

       在工業(yè)自動(dòng)化中常用的壓力傳感器有應(yīng)變片壓力傳感器、擴(kuò)散硅壓力傳感器、單晶硅壓力傳感器等。其中半導(dǎo)體應(yīng)變片式壓力傳感器又被稱(chēng)為壓阻式壓力傳感器，半導(dǎo)體材料多采用單晶硅膜片作為彈性膜片元件。壓阻式壓力傳感器由外殼、硅膜片、引線組成。它在硅膜片上利用MESM技術(shù)制造出4個(gè)等值的對(duì)稱(chēng)的擴(kuò)散電阻，構(gòu)成應(yīng)變橋系統(tǒng)，膜片兩邊分部布置高壓腔和低壓腔。對(duì)應(yīng)變系統(tǒng)施加恒定的電流，當(dāng)硅膜片兩邊無(wú)壓力差時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)，無(wú)電阻值的變化，因此無(wú)電壓的輸出。當(dāng)硅膜片產(chǎn)生形變，擴(kuò)散在上面的4個(gè)電阻在應(yīng)力的作用下，阻值發(fā)生變化，4個(gè)等值擴(kuò)散電阻構(gòu)成的應(yīng)變橋系統(tǒng)失去平衡，輸出相應(yīng)的電壓，且電壓與膜片兩邊的壓力差成正比。

       壓阻式壓力傳感器具有精度高、穩(wěn)定性好、量程范圍廣、尺寸精細(xì)等諸多優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)壓力變送器中。但因MESM技術(shù)工藝復(fù)雜，壓阻式壓力傳感器的價(jià)格也稍顯昂貴。